一、详细内容
1、名称:循环净化手套箱(连接蒸镀机的手套箱及其密封转移箱）
2、主要用途：对蒸镀器件进行惰性气体保护,及在手套箱内进行相关科学实验
3、基本要求和主要配置:
集成有封闭的操作箱体（带有倾斜的操作面和安全玻璃前窗）、与蒸镀机对接的箱体、大过渡舱、小过度舱、循环净化单元、净化材料还原再生系统，ＰLC控制及触摸屏操作系统、真空系统、支架等,具体包括: A、操作箱体
1)、30４不锈钢的箱体，箱体尺寸:122０×75０×900（标配304不锈钢材质） 2)、不锈钢制成的大真空过渡室,直径３６０mm×长60０mm；右置
３)、小的真空过渡室，直径150mｍ，长度36０ｍｍ,与大过渡室同侧布置 4）、操作面安装带两个手套口的前窗，安全钢化玻璃厚度1０mm,手套口材质为阳极氧化合金铝，表面钝化保护层：黑色 ５）、两个丁基橡胶手套
6）、操作面装有１套照明系统,采用LED灯管 7)、箱内多功能电源插座
8）、箱体内配两层可拆卸置物搁板
9)、底架箱及万向可调节水平的万向脚轮,高度可调节支承腿(可对箱体水平进行微调)
１0）、脚踏开关（方便人工干预箱体压力) B、与蒸镀机对接的密封转移箱
１）与蒸镀机对接法兰及相关密封机构
2）通过操作口，可以方便的提取蒸镀机腔室内的器件,相关结构形式由投标方提供方案及结构示意图，要求：安全、方便、密封可靠 Ｃ、循环净化系统
１）、高性能的循环净化风机罐（采用变频微处理器控制高压风机)
2）、高效除氧除水除有机溶剂的净化系统，采用高真空电磁阀控制循环管路，不接收电气动阀(无须电气动阀所须的控制气钢瓶)
３）、除氧剂填装量≥8公斤，除水剂填装量≥16公斤
3)、高效过滤器(过滤精度达0.3µm，净化系统气体进出口XX一套共二套） ４)、有机溶剂吸附器,活性炭填装量≥６公斤
5)净化材料还原再生系统，净化材料还原再生率可达８0％
6)净化罐采用独特的专利技术(需提供相关专利证书），可大幅提高净化材料的还原再生率及净化材料的有效填装量 D、
1)、采用微差压压力(有效地自动控制手套箱的压力)
2)、PＬC控制及触摸屏操作显示系统(友好的人机对话界面，电气终身质保，终身免费软件升级）
3）、四个盲板法兰,ＫＦ４0 Ｅ、水分析仪(又称露点仪）
Ｆ、氧分析仪,采用ＺｒO2探头,不接收燃料电池探头
G、真空泵（可在系统需要时自动启动，也可通过触摸屏人工干预工作,可以一泵多用)
4、工艺要求及技术指标： 1)水含量<１pｐｍ ２）氧含量〈1ppm
３）泄漏率：＜０.005VOＬ％/H(系统须有自动检测泄漏率功能，须提供第三方检测报告）
4）除氧剂填装量：8公斤 5）除水剂填装量:16公斤 6)活性炭填装量:６公斤 7）有效除氧量:>120升 8）有效除水量：>5公斤
９)净化材料一次再生率:>８０%
１０)正常情况下空箱运行，水氧含量到达1ppm的时间≤50分钟 11)正常情况下净化材料还原再生间隔周期≥12个月 12）正常情况下净化材料更换周期≥15年
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