专利名称：一种磁力传动器专利类型：发明专利发明人：丛明,李腾,姜英,杜宇申请号：CN200810012353.8申请日：20080714公开号：CN101325360A公开日：20081217
摘要：本发明属于工业用机器人技术领域，特别涉及在IC制造产业中，在真空环境中起硅片传输与定位作用的硅片传输机器人用的一种磁力传动器。磁力传动器包括实现转矩传入的动力输入部分，实现转矩输出的动力输出部分，壳体部分和磁路部分；动力输入部分中，动力输入设备通过端键与输入轴相联接，外转子通过键与输入轴相联接，外转子通过深沟球轴承与壳体进行定位；磁路部分中，内转子与内永磁体，外转子与外永磁体的联接方式均采用胶接。本发明的磁力传动器结构紧凑、磁体分布紧密、体积小、传递力矩较大、控制容易、运行平稳、拆装方便、运动惯量小，可应用于洁净度要求较高的真空机器人上。
申请人：大连理工大学
地址：116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
国籍：CN
代理机构：大连理工大学专利中心
代理人：关慧贞
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