专利名称:铜箔基板的制作方法及由该方法制得的铜箔基板专利类型:发明专利发明人:徐筱婷,何明展申请号:CN201810041790.6申请日:20180116公开号:CN110049636A公开日:20190723
摘要:一种铜箔基板的制作方法,其包括:提供一基板;对所述基板进行表面氧化处理,以在该基板的至少一表面上形成活化官能团;通过物理气相沉积在所述基板上形成铜铬合金层,该铜铬合金层与基板之间形成化学键合;在所述铜铬合金层的远离基板的表面形成铜层。所述铜箔基板的制作方法,先对基板进行表面氧化处理,在基板表面形成活化官能团,再在基板上形成铜铬合金层,然后在铜铬合金层上形成铜层,如此,可以使铜铬合金层与基板之间形成化学键合,使得铜铬合金层与基板之间具有较强的结合力,进而使得铜层与基板之间具有较强的结合力。另,本发明还提供一种应用所述铜箔基板的制作方法制得的铜箔基板。
申请人:鹏鼎控股(深圳)股份有限公司,宏启胜精密电子(秦皇岛)有限公司
地址:518105 广东省深圳市宝安区燕罗街道燕川社区松罗路鹏鼎园区厂房A1栋至A3栋
国籍:CN
代理机构:深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司
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