（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN201210431757.7 （22）申请日 2012.11.01 （71）申请人 国家纳米科学中心
地址 100190 北京市海淀区中关村北一条11号
（10）申请公布号 CN103792443B
（43）申请公布日 2016.09.28
（72）发明人 江潮;尹虹;李德兴;张一伟
（74）专利代理机构 北京润平知识产权代理有限公司
代理人 桑传标
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
探针台、有机薄膜器件的制备与测试集成系统及其方法
（57）摘要
本发明提供了一种探针台、有机薄膜
器件的制备与测试集成系统及其方法。其中，使有机薄膜器件制备装置（200）与探针台（100）密封连接并在二者之间形成对外密封的样品传递通道，通过设置样品传递装置（2）以将样品经由所述样品传递通道在所述有机薄膜器件制备装置（200）与所述探针台（100）之间进行传送，样品传送过程的全程均隔绝外界环境气氛影响，使得有机薄膜器件的生成和测试均隔离外界环境并处于密闭和真空环境中，有效提高测试准确度。
法律状态
法律状态公告日
2014-05-14 2014-06-11 2016-09-28
公开
实质审查的生效 授权
法律状态信息
公开
法律状态
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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