专利名称：衬底处理方法及衬底处理设备专利类型：发明专利
发明人：池尙炫,文勇秀,李建范申请号：CN201811143331.5申请日：20180928公开号：CN109585338A公开日：20190405
摘要：一种衬底处理方法及衬底处理设备。所述衬底处理方法包括：对进行衬底处理工艺的衬底进行加热，以使衬底的温度达到目标温度；在对衬底进行加热的同时，使用面对衬底定位的传感器来计算衬底的温度；以及根据从计算温度的步骤计算出的所述温度来控制被配置成对衬底进行加热的加热部件的操作，其中计算温度的步骤包括：使用传感器测量从衬底辐射出的总辐射能；通过应用修正值对总发射率进行修正来计算经修正总发射率，所述总发射率是总辐射能的发射率；以及使用总辐射能及经修正总发射率来计算衬底的温度。
申请人：AP系统股份有限公司
地址：韩国京畿道华城市东滩面东滩产团8便道15-5
国籍：KR
代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司
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