专利名称：一种彩色硅基OLED微显示器的制作方法及掩膜板专利类型：发明专利发明人：黄苒,赵博华
申请号：CN202011593252.1申请日：20201229公开号：CN112725729A公开日：20210430
摘要：本发明公开了一种彩色硅基OLED微显示器的制作方法及掩膜板，包括：将掩膜板的凹槽与硅晶圆的像素电极对位贴合；根据该所述掩膜板，对所述硅晶圆的像素电极依次进行蒸镀。如此，本发明通过在相邻的像素电极(包括红色像素电极、绿色像素电极和蓝色像素电极)上制备独立发光的红、绿、蓝OLED器件，提高OLED微显示器的显示亮度，避免了现有技术中因滤色膜的光透过率较低而导致损失大量的光强的问题，本发明还降低了OLED微显示器的功耗。
申请人：天津市滨海新区微电子研究院
地址：300000 天津市滨海新区骊山道以北、庐山北道以南海洋建设大厦1104
国籍：CN
代理机构：北京沁优知识产权代理有限公司
代理人：李蓓蕾
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