专利名称：一种OLED阳极的制备方法及OLED显示装置的制
备方法
专利类型：发明专利发明人：邢磊
申请号：CN201711052745.2申请日：20171030公开号：CN107863451A公开日：20180330
摘要：本发明提供一种OLED阳极的制备方法及OLED显示装置的制备方法，OLED阳极的制备方法包括下述步骤：在基板上形成阳极膜层，阳极膜层的材料为ITO材料；在阳极膜层上形成光刻胶膜层；图形化光刻胶膜层，得到光刻胶掩膜图案，光刻胶掩膜图案包括：光刻胶完全保留区域、光刻胶半保留区域、光刻胶完全去除区域；对阳极膜层进行刻蚀，得到阳极图案；去除光刻胶半保留区域；采用第一气体对阳极图案上位于光刻胶完全保留区域之外的部分进行等离子体处理，第一气体包含O2、N2O、CF4、Ar中的至少一种气体；去除所述光刻胶掩膜图案。本发明可以提高有机发光层上厚度较小部分的亮度，补偿有机发光层的厚度差异造成的显示不均，提高显示质量。
申请人：武汉华星光电技术有限公司
地址：430000 湖北省武汉市武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
国籍：CN
代理机构：深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙)
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