专利名称：单芯片三轴各向异性磁阻传感器专利类型：实用新型专利
发明人：闻永祥,范伟宏,王平,刘琛,季锋,邹光祎申请号：CN201420356614.9申请日：20140630公开号：CN203932117U公开日：20141105
摘要：本实用新型提供了一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器，该传感器包括：基底，其表面位于X方向和Y方向确定的平面内，基底的表面具有内凹的沟槽；磁通量集中器，位于沟槽的侧壁上；第一介质层，填充沟槽并覆盖磁通量集中器以及基底的表面；位于第一介质层上的第一磁传感器，检测方向为该X方向；位于第一介质层上的第二磁传感器，检测方向为该Y方向；位于第一介质层上的第三磁传感器，检测方向落入X方向和Y方向确定的平面内；其中，第三磁传感器和磁通量集中器共同形成了检测方向为Z方向的Z方向磁传感器。本实用新型的传感器结构简单，无需垂直封装，并且其制造方法和传统微电子工艺的匹配性好，适合大批量工业化生产。
申请人：杭州士兰集成电路有限公司
地址：310012 浙江省杭州市(下沙)经济技术开发区东区10号路308号
国籍：CN
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
代理人：张振军
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容