专利名称：一种红外透明导电薄膜及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：冯丽萍,刘正堂,王印权申请号：CN201110133106.5申请日：20110520公开号：CN102280163A公开日：20111214
摘要：一种红外透明导电薄膜及其制备方法，在蓝宝石试样的SiO增透薄膜上或者蓝宝石表面覆盖一层厚度为20～30nm，周期为500～700μm，线宽为2.0～4.0μm的Au网栅薄膜，并通过涂光刻胶、前烘、曝光、显影、后烘、沉积Au薄膜和去光刻胶，形成红外透明导电薄膜。由于Au网栅薄膜的周期远大于红外光的波长，故Au网栅薄膜对红外光学性能影响不大。同时又由于Au网栅薄膜的周期远小于电磁波的波长，所以Au网栅薄膜具有良好的电磁屏蔽功能。因而，Au网栅薄膜可作为蓝宝石的红外透明导电薄膜。结合镀有的SiO红外增透薄膜，可实现同时有效地提高蓝宝石衬底的红外透过率和电磁屏蔽效率。
申请人：西北工业大学
地址：710072 陕西省西安市友谊西路127号
国籍：CN
代理机构：西北工业大学专利中心
代理人：慕安荣
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