专利名称：一种非对称像差补偿装置专利类型：发明专利发明人：王洪尊,李静
申请号：CN201210117915.1申请日：20120422公开号：CN103376662A公开日：20131030
摘要：一种非对称微动形变像差补偿装置，包括被补偿镜片和多个驱动器，该多个驱动器能对被补偿镜片的不同位置进行驱动，使得镜片发生形变，从而补偿像差。这种装置具有结构简单，装配难度小；稳定可靠；操作方便等优点。此外，还克服了现有技术中可动镜片对高阶非对称像差无法补偿的难题，通过控制光学元件表面各个区域的面形变化，实现了高阶非对称像差的校正补偿。
申请人：上海微电子装备有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：北京连和连知识产权代理有限公司
代理人：王光辉
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