（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN201410586538.5 （22）申请日 2014.10.27
（71）申请人 中国科学院光电技术研究所
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
（10）申请公布号 CN104315985B
（43）申请公布日 2017.03.15
（72）发明人 毛洁;侯溪;伍凡
（74）专利代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 杨学明
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种透镜中心厚度干涉测量方法
（57）摘要
本发明公开了一种透镜中心厚度干涉
测量方法，该方法首先通过移动被测透镜，使干涉仪出射的平行光束经过标准镜头后会聚在被测透镜表面。然后采用双路测距干涉仪进行距离测量及面形误差补偿，获取被测透镜前后表面顶点处两次定位的位置坐标，然后利用光线追迹公式计算透镜中心厚度。该方法使用的测量装置包括干涉仪，标准物镜，激光测距仪，五维调整架及移动导轨。其中标准物镜和被测透镜依次放在干涉仪光源出射光线方向。被测透镜固定在五维调整
架上，可在导轨上移动。本发明利用干涉法对透镜表面定位及位置补偿，实现了透镜中心厚度的非接触测量。 法律状态
法律状态公告日
2015-01-28 2015-02-25 2017-03-15
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
法律状态
公开
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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