专利名称：一种晶硅铸锭炉热场热门控制装置及其控制方法专利类型：发明专利
发明人：刘芝,徐芳华,赵波,卢雪梅申请号：CN201110336968.8申请日：20111031公开号：CN102392293A公开日：20120328
摘要：本发明提供了一种采用中心对称开合的晶硅铸锭炉热场热门控制装置。现有的热场热门控制方法中，有的初期辐射量过大会极大影响成核质量，并且增加额外的能耗；有的后期辐射量不足导致晶体生长连续性不好并且生长速度缓慢；有的散热通道的不均匀对称性也会对晶体成核及生长造成不利的影响。本发明包括绝热笼、置于绝热笼内的加热器和热交换台，绝热笼的下方设有内部通冷却水的冷板，其特征在于所述的冷板与绝热笼底部之间设有其中心形成的开口能以中心对称的方式逐渐向四周打开或向中心闭合的隔热板组件。本发明结合中心对称开合法，既能保持低能耗的晶体生长，同时又能充分利用散热面积，还能够有效控制晶体初期成核和稳步定向生长。
申请人：杭州精功机电研究所有限公司
地址：310018 浙江省杭州市江干区杭州经济技术开发区17号大街9号2幢第4层
国籍：CN
代理机构：浙江翔隆专利事务所
代理人：张建青
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