专利名称:一种实时相移共光路干涉显微装置和方法专利类型:发明专利
发明人:郭荣礼,张维光,王凡,韩峰,于洵申请号:CN201910467962.0申请日:20190531公开号:CN110095085A公开日:20190806
摘要:本发明涉及反射式样品的定量精确测量技术领域,具体涉及一种实时相移共光路干涉显微成像装置和方法。为了克服现有技术存在的结构复杂、视场减小的缺点。本发明采用的具体结构包括沿主光轴方向依次设置的激光器、偏振片、扩束准直器、分光棱镜、透镜、显微物镜、偏振分光棱镜、样品,所述1/4波片和相机依次垂直设置于分光棱镜的反射光路上,1/4波片的光轴与主光轴方向成45度角放置;所述相机为偏振相机,像素前覆盖有微偏振片阵列,上述激光装置的使用方法,先将样品设置于分光棱镜的透射光路上,且位于显微物镜的工作距离处,然后按照一定的方法完成。
申请人:西安工业大学
地址:710032 陕西省西安市未央区学府中路2号
国籍:CN
代理机构:西安新思维专利商标事务所有限公司
代理人:黄秦芳
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